靜電速消：帶導電結構/ 塗層，快速導走靜電，不吸晶圓、不傷晶片。

超潔淨：陶瓷緻密，不掉屑、不析出雜質，半導體潔淨fab使用。

性能剛：氧化鋁陶瓷，硬、耐磨、耐高溫、抗腐蝕。

精度穩：熱脹冷縮小，加工準，搬晶圓時定位誤差小。